Multichannel spectro-microscopy with slow and Auger electrons
Project goals
The aim is to propose methodology, complete the experimental equipment and elaborate the multichannel collection of image data in the scanning electron microscope, namely in combination of Auger electrons and slow electrons between 10.10.10 and 10 eV, upto compilation of the three-dimensional image, its manipulations and graphic presentation. For detection of Auger electron, the equipment will be completed with the hyperbolic field energy analyzer producing 512 spectrum channels in parallel. For various energies of slow electrons the image dala will be acquired sequentially by frames but in the cathode lens equipped systemm in which the electron energy is set just at the specimen with minimum column readjustements so that fully consistent data are available, Questions are involved of calibration of the signal channels as regards the signal-to-noise ratio, correlations among image slices and three-dimensional image presentation by means of 3D graphic and psedocoloring approaches.
Keywords
multichannel detection of electronsAuger electronslow-energy electronsscanning electron microscopyenergy analysis of electronsAuger spectroscopyAuger microscopy
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
Call for proposals
Výzkumné granty 3 (SAV02003-A)
Main participants
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Mnohokanálová spektro-mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony
Annotation in Czech
Cílem projektu je navrhnout metodiku, sestavit experimentální zařízení a vypracovat postupy mnohakanálového sběru obrazových dat v rastrovacím elektronovém mikroskopu, a to v kombinaci mikroskopie Augerovýme elektrony a pomalými elektrony v řádu jednotekkeV až jednotek eV, až po sestavování třírozměrného obrazu, manipulace s ním a jeho grafickou prezentaci. Pro detekci Augerových elektronů bude experimentální zařízení doplněno o energiový analyzátor s hyperbolickým polem, který umožňuje současnou detekci 512 signálů podél spektra. Obrazová data budou pro jednotlivé energie pomalých elektronů snímána postupně, avšak za použití systému s datovou čočkou, kdy je energie dopadu elektronů dostavována až pod objektivem za minimálních zásahů do tubusu mikroskopu, takže je možné snímat vzájemně konsistentní obrazy. Budou řešeny otázky kalibrace signálových kanálů co do poměru signálu k šumu, korelace mezi obrazovými vrstvami a prezentace třírozměrného obrazu metodami 3D grafiky a pseudobarevně.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
BH - Optics, masers and lasers
CEP - another secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Design and implementation of a new type of parallel analyzer of electron energies with threefold efficiency, renovation and completion of a UHV device for low energy microscopy, many original results in applications of this method in materials sciences.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2003
Realization period - end
Jan 1, 2005
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP06-AV0-IA-U/04:2
Data delivery date
Sep 26, 2007
Finance
Total approved costs
2,369 thou. CZK
Public financial support
1,526 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
2 369 CZK thou.
Public support
1 526 CZK thou.
64%
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
CEP
BM - Solid-state physics and magnetism
Solution period
01. 01. 2003 - 01. 01. 2005