Low-temperature plasmatic deposition of polycrystalline and nanocrystalline oxide thin films by systems with hollow cathodes
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
The research grant projects for juniors
Call for proposals
Juniorské badatelské grantové projekty 5 (SAV02007-B)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
KJB100100707
Alternative language
Project name in Czech
Nízkoteplotní plazmatická depozice polykrystalických a nanokrystalických oxidových tenkých vrstev pomocí systému dutých katod
Annotation in Czech
Navrhovaný projekt bude zaměřen na nízkoteplotní depozici vybraných oxidových tenkých vrstev pomocí vícetryskového plazmového systému. K měření parametrů plazmatu v průběhu depozice budou použity a rozšířeny pokročilé diagnostické metody. Hlavním cílem bude depozice tenkých feroelektrických vrstev Ba1-xSrxTiO3 a PbZr1-xTixO3 za nízkých teplot s kvalitními dielektrickými a feroelektrickými vlastnostmi. Tyto parametry budou měřeny v širokém rozpětí frekvencí a teplot. Důraz bude kladen na kontrolovanou depozici z hlediska velikosti zrn, přesnosti požadovaného chemického složení, hustoty defektů, kyslíkových vakancí a dielektrických vlastností v závislosti na měřených parametrech plazmatu. Zvládnutí předchozích úkolů umožní deponovat gradientní perovskitové vrstvy. Dalším úkolem bude depozice vysoce kvalitních nanokrystalických vrstev anatasu s malou hustotou vakancí a přesnou stechiometrií. Cílem bude dosáhnout vysoké depoziční rychlosti a velmi dobrých fotokatalytických vlastností.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Hollow cathode plasma jet systems were studied by the deposition of BaxSr1-xTiO3, TiO2 and TiO2:N thin films. Emission spectroscopy, Langmuir probe and ion flux monitor on the substrate were used for plasma diagnostics.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2007
Realization period - end
Dec 31, 2009
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 28, 2009
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP10-AV0-KJ-U/03:3
Data delivery date
Jun 14, 2011
Finance
Total approved costs
1,618 thou. CZK
Public financial support
1,618 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK