MEMS ESO - MEMS sensors with optical scanning
Project goals
The main objective of the project is research and development of functional sample of MEMS inertial sensor with optical sensing. The parameters of the gyroscope will be validate by measurement. This objective comprise research and development of front-end integrated circuit with innovative architecture, development and validation of precise laser micromachining technology for optical materials as well as development of interferometric measurement set-up for nano-scale movement measurement. Major Project deliverables: Functional sample of the MEMS inertial sensor with optical read-out (12/2021) Validated technology for precise micromachining of optical materials Details are provided in the proposal appendix - chapter 1 Hlavni příloha.
Keywords
Inertial sensorsMEMSintegrated circuitinterferometeroptical material micromachininglaser
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
Programme of applied research and experimental development EPSILON
Call for proposals
EPSILON 3 (STA02017TH030)
Main participants
Honeywell International s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
TH03010205 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
MEMS ESO - MEMS sensory s optickým snímáním
Annotation in Czech
Cílem projektu je výzkum a vývoj funkčního vzorku nové struktury vzorku MEMS inerciálního senzoru včetně výzkumu optického vyčítání a ověření funkčnosti vzorku měřením. Součástí tohoto cíle je výzkum inovativní architektury budicích obvodů a vývoj řídicí a budicí elektroniky ve formě integrovaného obvodu, včetně vývoje ověřené technologie rychlého a precizního laserového obrábění definovaných soustav cylindrických otvorů mikrometrových rozměrů v opticky transparentních materiálech a vývoj interferometrické metody pro měření pohybu MEMS struktur v řádech jednotek nanometrů. Výstupy projektu: Funkční vzorek MEMS inerciálního senzoru s optickým vyčítáním (12/2021) Ověřená technologie precizního obrábění optických materiálů (12/2020) Více v kapitole 1 Hlavní přílohy.
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
OECD FORD - main branch
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - secondary branch
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - another secondary branch
20202 - Communication engineering and systems
JA - Electronics and optoelectronics
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
JW - Navigation, connection, detection and countermeasure
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
These are preliminary data, the project evaluation hasn´t proceeded yet.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2018
Realization period - end
Dec 31, 2021
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2021
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP22-TA0-TH-U
Data delivery date
Jun 30, 2022
Finance
Total approved costs
39,179 thou. CZK
Public financial support
23,230 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
16,536 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
39 179 CZK thou.
Public support
23 230 CZK thou.
59%
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
OECD FORD
Electrical and electronic engineering
Solution period
01. 01. 2018 - 31. 12. 2021