Multi-Scale Simulation Toolbox
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
Programme of applied research and experimental development EPSILON
Call for proposals
—
Main participants
PlasmaSolve s.r.o.
Contest type
M2 - International cooperation
Contract ID
TH75020005 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
Multiškálový simulační toolbox
Annotation in Czech
Cílem projektu je navrhnout a vyvinout Multiškálový simulační toolbox (MIST) který dokáže předpovídat kompletní dynamiku PECVD depozičního procesu. Konkrétně se jedná o vznik a transport reaktivních částic v geometrii skutečného povlakovacího zařízení, růst materiálu, vlastnosti materiálu a nakonec i vlastnosti výsledného produktu. Díky tomuto nástroji bude možné lépe pochopit tento proces a umožnit tak jeho škálování a optimalizaci. Současně použití tohoto nástroje významně omezí počet prototypů, které musí být konstruovány a v důsledku toho i významě klesne energetická a materiálová náročnost vývoje. Výpočetní toolbox bude v tomto projektu aplikován na případ SiO2 deponovaného metodou PECVD z prekurzoru TMDSO. Zařízení, na kterém bude potenciál a platnost výpočetního toolboxu demonstrována je průmyslový plazmový zdroj s dutou katodou.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
OECD FORD - secondary branch
20301 - Mechanical engineering
OECD FORD - another secondary branch
—
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BK - Liquid mechanics<br>BL - Plasma physics and discharge through gases<br>JR - Other machinery industry<br>JT - Propulsion, engines and fuels
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
These are preliminary data, the project evaluation hasn´t proceeded yet.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jun 1, 2021
Realization period - end
Nov 30, 2022
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2022
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP23-TA0-TH-U
Data delivery date
Jun 30, 2023
Finance
Total approved costs
3,178 thou. CZK
Public financial support
2,365 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
813 thou. CZK