Probe measurements in capacitively coupled rf discharge

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F01%3A00009846" target="_blank" >RIV/00216224:14310/01:00009846 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Probe measurements in capacitively coupled rf discharge
Original language description
The current-voltage characteristics were measured by r.f. compensated Langmuir probe in capacitevely coupled r.f. discharges. Two different gases, argon and nitrogen, were used. From I-V curves were taken main parameters as a plasma and floating potentials, electron temperature, electron concentration, and mean electron energy and their dependence on input power over the range from 5 to 40 W, distance between electrodes and probe position in radial axe in gas pressure between 0.43 and 4.3 Pa.
Czech name
Sondové měření v kapacitně vázaném výboji
Czech description
Voltampérová charakteristika Langmuirovy sondy měřena v kapacitně vázaném rf výbojích, ve dvou ruzných plynech, argonu a dusíku. Z VA charakteristik byly získány hlavní parametry-plazmový a plovoucí potenciál, koncentrace a teplota elektronů, jejich střední energie a závislosti těchto parametrů na výkonu a vzdálenosti mezi elektrodami a pozici sondy vzhledem ke středu reaktoru, při tlacích 0,43-4,3 Pa.

Publication year
2001
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
WDS'01, Proceedings of contributed papers, Part II, Physics of Plasmas and Ionized Media
ISBN
80-85863-73-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
435-438
Publisher name
MATFYZPRESS
Place of publication
Praha
Event location
Praha
Event date
Jan 1, 2001
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)