Optical Properties of Diamond-Like Carbon Films Containing SiOx Studied by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010137" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010137 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Optical Properties of Diamond-Like Carbon Films Containing SiOx Studied by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry

Original language description

In this paper the results of the study of the optical properties of diamond like carbon films with different amount of SiOx prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition from a mixture of metane and hexamethyldisiloxane onto silicon substrates will be presented. These results have been obtained using the combined method based on a simultaneous interpretation of experimental data achieved with variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry within the near-UVand visible regions. For interpreting the experimental data our new dispersion model of the optical constants based on the parameterization of the density of electronic states has been employed. Within this model the new analytical three parameter dispersion formula has been derived. These three parameters are proportional to the pi and sigma valence electron densities.

Czech name

Optické vlastnosti diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících SiOx studované kombinovanou optickou metodou spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie

Czech description

V článku budou uvedeny výsledky studia optických vlastností diamantu podobných uhlíkových vrstev s různým množstvím SiOx připravených plasmově podporovanou chemickou deposicí ze směsi metanu a hexamethyldisiloxanu na křemíkové podložky. Tyto výsledky jsou dosaženy pomocí kombinované metody založené na současné interpretaci experimentálních dat obdržených pomocí úhlově proměnné spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie aplikované při téměř kolmém dopadu světla v blízké ultrafialové aviditelné oblasti spektra. Pro interpretaci experimentálních dat byl využit náš nový dispersní model optických konstant založený na parametrizaci hustoty elektronových stavů. V rámci tohoto modelu je odvozena nová analytická tříparametrická dispersní formule. Tyto tři parametry jsou úměrné hustotám pí a sigma valenčních elektronů.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Thin Solid Films

ISSN

0040-6090

e-ISSN

—

Volume of the periodical

455-456

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

6

Pages from-to

393-398

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—