In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010983" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010983 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00216305:26210/04:PU47902

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry

Original language description

In the paper in situ monitoring of the UV-light-and thermal treatment of PMPSi thin films by real time spectroscopic ellipsometry and additional ex situ measurements are reported. In the in situ experiments the films were treated both under ultrahigh vacuum and oxygen atmosphere. The results of this study indicate systematic shift of the imaginary part of a complex dielectric function depending on the degree of treatment.

Czech name

In situ analýza tenkých vrstev PMPSi metodou spektroskopické elipsometrie

Czech description

V článku jsou prezentovány výsledky elipsometrických měření tenkých vrstev poly(methyl-phenylsilanu) ve spektrálním oboru (3,4 - 4,8 eV). Měření byla pořízena během působení UV záření a zvýšené teploty v ultravakuové komoře s možností připouštění kyslíku. V závislosti na typu a intenzitě působení dochází k systematickému posunu a změně tvaru spektra komplexní dielektrické funkce.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/PG98377" target="_blank" >PG98377: Ion-beam technologies and surface/thin film analysis</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Volume of the periodical

9/2004

Issue of the periodical within the volume

9

Country of publishing house

CZ - CZECH REPUBLIC

Number of pages

3

Pages from-to

260-262

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—