In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010399" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010399 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00216305:26210/04:PU47898

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Original language description

In-situ monitoring of the UV-light and thermal treatment of PMPSi thin films by real-time spectroscopic ellipsometry and XPS is reported. The films were treated both under ultrahigh vacuum and oxygen atmosphere. The results of this study indicate that the Si-Si bonds in the polymer main chain were primarily broken at the UV-light treatment. However, the Si radicals recombined into the polymer-like chains causing no remarkable chemical shift. The UV-light treatment under enhanced sample temperature (~80C) in oxygen atmosphere resulted in the more intense degradation of the PMPSi film. This can be related to cutting off the volatile methyl groups from the polymer main chains.

Czech name

Analýza PMPSi metodou spektroskopické elipsometrie a XPS

Czech description

Sledovali jsme působení UV záření a zvýšené teploty na tenké vrstvy PMPSi v reálném čase pomocí spektroskopické elipsometrie a XPS. Tyto dva vlivy byly aplikovány na vrstvy v prostředí vysokého vakua a v kyslíkové atmosféře. Z výsledků této studie vyplývá, že Si-Si vazby, tvořící páteř polymeru, jsou rozbíjeny především působením UV záření. Po rozbití vazeb a následném zesíťování polymeru nedochází ke zpětnému posunu v elipsometrických spektrech. Působení UV záření a současné zahřívání vzorku na teplotuokolo 80C v kyslíkové atmosféře vede k silnější degradaci vrstvy PMPSi. To může být spojeno s uvolněním methylových skupin od páteře polymeru.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/PG98377" target="_blank" >PG98377: Ion-beam technologies and surface/thin film analysis</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Volume of the periodical

2004

Issue of the periodical within the volume

36

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

4

Pages from-to

1218-1221

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—