Energy distribution of hydrogen ions in capacitively coupled low pressure discharge

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00012694" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00012694 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Energy distribution of hydrogen ions in capacitively coupled low pressure discharge

Original language description

The H3+, H2+ and H+ ion energy distributions (IEDs) were recorded in the 13.56 MHz hydrogen glow discharges with the energy dispersive quadrupole mass spectrometer (PPM 421) horizontally mounted between the discharge electrodes. The discharge was capacitively coupled with an asymmetric arrangement. The measurements were spatially resolved along the discharge axis, i.e. perpendicular to the electrodes, and reflected the ion flux to the grounded PPM extraction orifice 15 mm aside the electrodes. The IEDsof H3+ and H+ revealed a saddle structure that was suppressed by an effect of collisions in case of H2+. The H+ with energies up to 10 eV higher than the maximum energy of the saddle structure were observed and explained by a dissociative ionization of H2. We proved an appreciable impedance of the plasma glow region from the width changes of the saddle structure. The effect of pressure and rf power on the IEDs was studied for a fixed position at the glow region.

Czech name

Rozdělovací funkce energií iontů ve vodíkovém kapacitně vázaném nízkotlakém výboji

Czech description

Článek uvádí rozdělovací funkce energií iontů (IED) H3+, H2+ a H+ vyletujících z vf. (13,56 MHz) kapacitně vázaného asymetrického vodíkového výboje, zapalovaného mezi dvěma vodorovnými elektrodami. IED byly měřeny hmotnostním a energiovým analyzátorem (PPM 421) z boku horizontálně mířícím do prostoru mezi elektrodami. Vstup do PPM byl zeměný a byl umístěn v horizontální vzdálenosti 15 mm od krajů elektrod. Publikujeme tvary IED v různých svislých vzdálenostech od buzené elektrody. Detekovali jsme iontyH+ s energií o více než 10 eV vyšší, než je maximální energie sedlové struktury, a jejich přítomnost vysvětlili disociativní ionizací molekuly H2. Naměřili jsme nezanedbatelnou impedanci vlastního plazmatu viditelnou na změně šířky sedlové struktury IEDpři posunu měřícího bodu. Uvádíme také vliv tlaku a vf. výkonu.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GD202%2F03%2FH162" target="_blank" >GD202/03/H162: Advanced topics in physics and chemistry of plasmas</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Acta physica slovaca

ISSN

0323-0465

e-ISSN

—

Volume of the periodical

55

Issue of the periodical within the volume

5

Country of publishing house

SK - SLOVAKIA

Number of pages

6

Pages from-to

441-446

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—