Ion and Probe Measurements in rf Capacitive Discharges in Argon and Nitrogen

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010679" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010679 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Ion and Probe Measurements in rf Capacitive Discharges in Argon and Nitrogen

Original language description

We used Langmuir probe and Balzers PPM to determine plasma potential, electron concentration, energy of ions and plasma potential in Ar and N2 discharge. Both diagnostic devices were oriented parallel. The movable electrodes allow a perpendicular spatially resolved measurements. The ion energy distribution (IED) measured at the high power is the same as at the grounded electrode. It exhibited only one peak which was typically found for low voltage modulated r.f. sheaths (the case of grounded electrode).The mean energy of Ar+ and N2+ ions was about 92~% of the energy related to the plasma potential. Moreover, low energy electron tail appeared in their IEDs. These both facts are explained by collisions in the sheath. Not observed effect of collisions in N+ ions IEDs. The ion mean energies decreased towards the grounded electrodes in agreement with the plasma potential. The ion and electron concentrations showed similar profiles (maximum about 12~mm above the grounded electrode).

Czech name

Měření iontů a sondové měření v kapacitně vázaných výbojích v argonu a dusíku

Czech description

K získání koncentrace elektronů, energie elektronů a plazmového potenciálu, v argonu a dusíku, byla použita Langmuirova sonda a PPM Balzers. Oba diagnostické přístroje byly umístěny paraleně s rovinou elektrod. Pohyblivé elektrody umožňují získat prostorové rozložení parametrů mezi elektrodami. Rozdělovací funkce energie iontu je za vysokých výkonu stejná jako pro zemněnou elektrodu. Projevuje se zde jeden intenzivní pík typický pro stěnové vrstvy u elektrod s malou amplitudou. Střední energie Ar+ a N2+iontů je zhruba 92% energie odpovídající plazmovému potenciálu. Objevuje se nízkoenergetický pás. Z toho usuzujeme na srážky ve stěnové vrstvě, které nejsou pozorovány pro N+ ionty. Průběh střední energie iontů je ve shodě s průběhem plazmového potenciálu. Koncentrace elektronů a iontů mají stejný profil.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

WDS'04 Proceedings of Contributed papers, Part II

ISBN

80-86732-32-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

6

Pages from-to

333-338

Publisher name

MATFYZPRESS

Place of publication

Praha

Event location

Praha

Event date

Jan 1, 2004

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—