Spatially resolved probe measurements in hydrogen rf discharges

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00012710" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00012710 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Spatially resolved probe measurements in hydrogen rf discharges

Original language description

The electron energy distribution (EED) was measured by means of the Langmuir probe in hydrogen capacitively coupled rf discharge at three different pressures (2.5, 10 and 85,Pa). In order to obtain the spatially resolved EEDs the probe tip was moved along the discharge axis and the plasma parameters were measured at different distances from the electrodes. An unusually high electron energy at the lowest pressure was observed having its maximum at the sheath edge, where the maximum of the electron concentration was also located. On the other hand, at higher pressures the electron concentration was maximum inside the plasma bulk. When the pressure was increased, the increase of the electron concentration, decrease of the mean electron energy, changes ofthe nonlocal discharge character towards the local character and the development of the sheath at the grounded electrode were observed. A high-energy group of electrons coming from the sheaths at the highest pressure was detected.

Czech name

Prostorově rozlišená měření Langmuirovou sondou ve vodíkovém rf výboji

Czech description

Měřili jsme rozdělovací funkci energie elektronů (EED) ve vodíkovém rf. kapacitně vázaném výboji při třech různých tlacích (2.5, 10 a 85 Pa). Hrot sondy byl při všech měřeních umístěn na ose výboje, ale za účelem získání prostorově rozlišených měření jsme měnili jeho vzdálenost od elektrod. Při tlaku 2.5 Pa jsme pozorovali, že elektrony měly nezvykle velkou energii. Maxima energie i koncentrace elektronů ležela na rozhraní stěnové vrstvy prostorového náboje ("sheath-u") u horní elektrody a vlastního plazmatu. Při zvyšování tlaku jsme pozorovali růst koncentrace a pokles energie elektronů, posun maxima koncentrace elektronů do centra plazmatu, přechod od nelokálního k lokálnímu charakteru výboje a vývoj stěnové vrstvy prostorového náboje u dolní elektrody. Detekovali jsme také skupinu vysokoenergetických elektornů letících od stěnových vrstev u elektrod.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GD202%2F03%2FH162" target="_blank" >GD202/03/H162: Advanced topics in physics and chemistry of plasmas</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of the 14th Annual Conference of Doctoral Students - WDS 2005

ISBN

80-86732-59-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

5

Pages from-to

368-372

Publisher name

Matfyzpress

Place of publication

Praha

Event location

Praha

Event date

Jan 1, 2005

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—