Spectroscopic ellipsometry of sinusoidal surface-relief gratings

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00013177" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00013177 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Spectroscopic ellipsometry of sinusoidal surface-relief gratings

Original language description

Spectroscopic ellipsometry (SE) is used to study a sinusoidal-relief grating fabricated on a surface of transparent polymer. An optically thick polymer layer is situated on a glass substrate and its refraction index is optically matched to the index of the glass. The rigorous coupled-wave analysis, implemented as the airy-like internal reflection series, is applied to calculate the optical response of the relief grating. The entire optical response of the sample is determined by employing incoherent backreflections at the interface between the polymer and the glass. The parameters describing the dimensions and the real shape of the sine-like relief, as well as the quality of the optical matching between the polymer and the glass, are determined using SE together with atomic force microscopy as a complementary technique.

Czech name

Spektroskopická elipsometrie sinusoidálních reliéfních mřížek

Czech description

Spektroskopická elipsometrie (SE) je použita pro studium mřížek se sinusovým reliefem, které byly připraveny na povrchu transparentního polymeru. Opticky tlustá polymerní vrstva je umístěna na skleněnou podložku a její index lomu je opticky přizpůsoben sindexem lomu skla. Rigorosní analýza vázaných vln implementovaná jako airyho podobná řada vnitřních odrazů je aplikována pro výpočet optické odezvy reliefní mřížky. Celková optická odezva vzorku je určena s využitím zpětných odrazů na rozhraní mezi polymerem a sklem. Parametry popisující rozměry a skutečný tvar sinusového reliefu stejně tak jako kvalitu optického přizpůsobení mezi polymerem a sklem jsou určeny s využitím spektroskopické elipsometrie a mikroskopie atomové síly jako komplementární techniky.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Applied Surface Science

ISSN

0169-4332

e-ISSN

—

Volume of the periodical

244

Issue of the periodical within the volume

1-4

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

4

Pages from-to

221-224

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—