Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00013719" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00013719 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging

Original language description

We report on recent advances in spatially resolved x-ray diffraction, extending the technique known as rocking curve imaging down to 1--2 um spatial resolution. Application to a set of gallium nitride samples grown by epitaxial lateral overgrowth (ELO) shows the potential of the technique. Quantitative information on crystallographic misorientations and lattice quality can be obtained by direct imaging with high lateral resolution. Results from two samples of ELO-GaN grown on different substrates are compared. Tilt in individual lateral periods of the ELO structure can be quantified. Local tilt fluctuations are distinguished from macroscopic variations (curvature). The local lattice quality can be investigated via the peak width of diffraction profilesrecorded in individual camera pixels. The peak broadening previously observed in laboratory x-ray diffraction measurements is found to have (at least) two different reasons. In both cases, peak broadening does not indicate a degradation

Czech name

Lokální analýza rozorientace křídel laterálně přerostlých GaN zobrazením rocking křivek

Czech description

Referujeme o nejnovějších výsledcích v prostorově rozlišené rtg difrakci, rozšiřující techniku zvanou zobrazení rocking křivkami na rozlišení 1--2 um. Potenciál metody je demonstrován na sérii GaN vzorků připravených epitaxním přerostením (ELO). Kvantitativní informace o krystalografické rozorientaci a kvalitě mřížky může být získána přímým zobrazením s vysokým laterálním rozlišením. Srovnáváme výsledky ze dvou vzorků ELO-GaN rostlých na různých substrátech. Lokální kvalita mřížky je analyzována pomocíšířky píků difrakčních profilů zaznamenaných jednotlivými pixely na kameře. Rozšíření šířky píků měřené laboratorní rtg difrakcí je interpretováno, a zjištěno, že neznačí degradaci v lokální kvalitě mřížky.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Journal of physics D: Applied physics

ISSN

0022-3727

e-ISSN

—

Volume of the periodical

38

Issue of the periodical within the volume

10A

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

5

Pages from-to

"A50"-"A5"

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—