X-ray microdiffraction imaging investigations of wing tilt in epitaxially overgrown GaN

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F06%3A00017349" target="_blank" >RIV/00216224:14310/06:00017349 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

X-ray microdiffraction imaging investigations of wing tilt in epitaxially overgrown GaN

Original language description

The crystalline quality in epitaxially laterally overgrown (ELO) GaN and the amount of wing tilt is characterized on a local basis, with high spatial and angular resolution. A method of full-field X-ray microdiffraction imaging, termed rocking curve imaging, is used to record simultaneously a large set of local X-ray diffraction profiles originating from sample surface areas of micrometer size. x-omega maps of diffracted intensity allow to quantify the amount of wing tilt in individual lateral ELO periods as well as to monitor the fluctuations of tilt between adjacent periods. Automated shape analysis of the full set of local rocking curves provides a means to quantitatively characterize the local crystalline perfection of GaN. The ELO window and wingregions can be clearly separated; comparison indicates an average improvement of crystal quality by a factor 3?4 due to the lateral overgrowth process.

Czech name

Studium rozorientace křídel laterálně přerostlých GaN rtg mikrodifrakčním zobrazováním

Czech description

Krystalová kvalita v epitaxně přerostlých (ELO) GaN vrstvách a velikost rozorientace křídel jsou charakterizovány lokálně, s vysokým prostorovým i úhlovým rozlišením. K tomu jsme použili metodu plného zobrazení rtg mikrodifrakčním zobrazením, též zvanéhorocking curve imaging (RCI). ELO okna a křídla mohou být jasně separována; srovnání ukazuje na zlepšení krystalinity faktorem 3?4 díky procesu laterálního přerostení.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Physica stat.sol.(a)

ISSN

0031-8965

e-ISSN

—

Volume of the periodical

203

Issue of the periodical within the volume

7

Country of publishing house

DE - GERMANY

Number of pages

6

Pages from-to

1733-1738

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—