Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00014764" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00014764 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions

Original language description

In this paper the results concerning the optical characterization of the PZT film are presented. The multi-sample modification of the optical method based on combining variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometryis used to obtain the spectral dependences of the optical constants of this film within the spectral region 190-1000 nm. Within the near-UV region the sharp features of the spectral dependences of the optical constants are found. These features are explained by the existence of the narrow bands of the 4d and 3d valence electrons of the transition metals Zr and Ti. Within the optical characterization of the PZT film the defects consisting of boundary roughness and refractive index profile are respected.

Czech name

Optická charakterizace tenkých vrstev PZT deponovaných sol-gel metodou pomocí spektroskopické elipsometrie a měření odrazivosti v blízké UV a viditelé oblasti

Czech description

V tomto článku jsou uvedeny výsledky týkající se optické charakterizace PZT vrstvy. Vícevzorková modifikace optické metody založené na kombinaci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie je použita pro obdrženíspektrálních závislostí optických konstant této vrstvy v rámci spektrální oblasti 190-1000 nm. V blízké UV oblasti ostré tvary spektrálních závislostí optických konstant byly nalezeny. Tyto tvary jsou vysvětleny existencí úzkých pásů 4d a 3d valenčních elektronů přechodových kovů Zr a Ti. V rámci optické charakterizace PZT vrstvy jsou respektovány defekty sestávající se z drsnosti rozhraní a profilu indexu lomu.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Applied Surface Science

ISSN

0169-4332

e-ISSN

—

Volume of the periodical

244

Issue of the periodical within the volume

1-4

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

5

Pages from-to

338-342

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—