The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00025502" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00025502 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation

Original language description

In this contribution we present a study of the role of secondary electrons in low pressure RF discharge via computer simulation. We have used particle simulation Particle In Cell Monte Carlo (PIC-MC) method. We have shown that the secondary electron emission coefficient (SEC) of electrodes affects plasma density. The change of the SEC from 0.1 to 0.2 induces an increase of plasma density up to 30%. We determined that about 30 % of all electrons in plasma are secondary electrons and electrons created inionization collisions of secondary electrons. More than half of all ions in plasma are ions, created in ionization collisions of secondary electrons. We have calculated many further characteristics of secondary particles.

Czech name

Role sekundárních elektronů v nizkotlakém rf výboji pomocí počítačové simulace

Czech description

V příspěvku uvádíme studium role sekundárních elektronů v nízkotlakém RF výboji pomocí počitačové simulace. Pro simulaci jsme užili částicovou simulaci (Particle In Cell-Monte Carlo). Ukazali jsme, že koeficient sekundární emise (SEC) elektrod výrazně ovlivnuje plazma. Změna SEC o 0,1 vyvolá nárůst hustoty plazmatu až o 30%. Ukázali jsem, že okolo 30% elektronů jsou sekundárních elektronů a elektronů vytvořených ionizačníma srážkama sekundárních elektronů. Více než polovina všech iontů v systému je tvořena ionty vzniklými z ionizačních srážek sekundárních elektronů.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

SAPP XV

ISBN

80-223-2018-8

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

—

Publisher name

Karol Hensel

Place of publication

Podbanske, Slovakia

Event location

Podbanske

Event date

Jan 1, 2005

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—