Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F06%3A00015814" target="_blank" >RIV/00216224:14310/06:00015814 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry

Original language description

Carbon polymer-like films were prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition in pulsed regime in Ar-acetylene gas mixture. The optical characterization of these films was performed by variable angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopicreflectometry applied at near-normal incidence within the spectral region 190 - 1000 nm. The ellipsometric and reflectometric data were treated separately for the individual samples of the films mentioned above. For treating these data the structural model of the films containing roughness of the boundaries was used. Boundary roughness was included into the formulae for the ellipsometric quantities and reflectance of the films by means of the scalar diffraction theory. Furthermore, the dispersion modelbased on parameterization of the density of electronic states was employed for expressing the spectral dependences of the optical constants describing the films studied. Within the optical characterization the thicknesses, spectral depen

Czech name

Optická charakterizace uhlíkových vrstev připravených metodou PECVD pomocí elipsometrie a reflektometrie

Czech description

Uhlíkové polymerní vrstvy byly připraveny plazmovou depozicí z plynné fáze v pulzním režimu ve směsi Ar-acetylén. Optická charakterizace těchto vrstev byla provedena pomocí spektroskopické elipsometrie pod různými úhly dopadu a spektroskopické reflektometrie při téměř kolmém dopadu ve spektrální oblasti 190 - 1000 nm. Elipsometrická a reflektometrická data byla zpracovávána odděleně pro jednotlivé vzorky vrstev. Pro vyhodnocení těchto dat byl použit strukturální model vrstev obsahující drsnost rozhraní.Drsnost rozhraní byla do rovnic pro elipsometrické veličiny a reflektanci zahrnuta ve formě skalární difrakční teorie. Disperzní model, který se zakládal na parametrizaci hustoty elektronových stavů, se pak použil pro vyjádření spektrálních závislostí optických konstant studovaných vrstev. V rámci optické charakterizace byly zjištěny tloušťky, spektrální závislosti indexu lomu a indexu absorpce, disperzní parametry a střední kvadratické odchylky výšek drsnosti rozhraní pro všechny studo

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GD202%2F03%2FH162" target="_blank" >GD202/03/H162: Advanced topics in physics and chemistry of plasmas</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Czech. J. Phys.

ISSN

0011-4626

e-ISSN

—

Volume of the periodical

56/2006

Issue of the periodical within the volume

Suppl. B

Country of publishing house

CZ - CZECH REPUBLIC

Number of pages

7

Pages from-to

1103-1109

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—