Study of magnetic field influence on charged species in a low pressure helicon reactor
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F06%3A00015838" target="_blank" >RIV/00216224:14310/06:00015838 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Study of magnetic field influence on charged species in a low pressure helicon reactor
Original language description
The variation of electron density, ion flux and emission of argon lines were investigated in a rf helicon reactor for different static magnetic field amplitude and rf power using Langmuir probe, rf coupled planar probe and optical emission spectroscopy.The static magnetic field was created by two Helmholtz coils positioned around the plasma source. Its amplitude B varied by changing the current 0-2 A through the coils from 0 to 10 mT in the helicon source, which corresponded to 0-1.4 mT in the diffusion chamber. We studied Ar and O2 discharges at 0.7~Pa with rf power 50-600 W applied to the helicon antenna. The variations of electron density, ion flux and intensity of Ar 750~nm with the rf power measured in Ar diffusion plasma were in a good agreement. Measurements in oxygen discharge showed slightly different results.
Czech name
Studium vlivu magnetického pole na nabité částice v nízkotlakém helikonovém reaktoru
Czech description
Studium koncentrace elektronů, toku iontů a emisní argonové čáry v vf helikonovém reaktoru pro různé statické magnetické pole. Použité metody: Langmuirova sonda, vf planární sonda a optická emisní spektroskopie. Statické magnetické pole bylo vytvářena dvěmy cívkami okolo zdroje jehož hodnota se pohybuje od 0 do 10 mT ve zdroji a mezi 0 a 1,4 mT v difúzní komoře. Byl studován argonový a kyslíkový výboj při tlaku 0,7 Pa a vf výkonu 50-600 W v helikonové anténě. Průběhy závislostí koncentrace elektronů, toku iontů a intenzity argonové čáry 750 nm na výkonu byly v dobré shodě. Měření v kyslíkovém výboji ukazuje lehce odlišné výsledky
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GD202%2F03%2FH162" target="_blank" >GD202/03/H162: Advanced topics in physics and chemistry of plasmas</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Czechoslovak Journal of Physics
ISSN
0011-4626
e-ISSN
—
Volume of the periodical
56
Issue of the periodical within the volume
suppl. B
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
6
Pages from-to
1091-1096
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—