Influence of methane on capacitively coupled oxygen discharge

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F07%3A00020196" target="_blank" >RIV/00216224:14310/07:00020196 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Influence of methane on capacitively coupled oxygen discharge
Original language description
In this work the mixture of oxygen and a small amount (0-5%) of methane was studied. The measurements were carried out in low-pressure (6.5 Pa) capacitively coupled RF discharge. Positive ions and neutral particles were detected by mass spectrometer andion energy analyzer. O2+ was the dominating ion in the discharge. Its amount was significantly decreased when a small amount of methane was added. H3O+ and carbon containing ions as C2H7+, CHO+ (C2H5+), CH3+ and CO+ were consequently detected. The flux of neutral particles were composed of dominant O2 which decreased with increasing amount of methane, and expected important product species as H2O, CO2 and CO.
Czech name
Vliv metanu na kapacitně vázaný kyslíkový výboj
Czech description
Vliv metanu na kyslíkový kapacitně vázaný výboj byl studován pomocí hmotnostního a energiového spektrometru. Dominantním iontem ve výboji byl kyslíkový iont O2+, jehož množství bylo výrazně redukováno přidáním příměsi metanu. Dále byly detekovány především ionty C2H7+, CHO+, CH3+ a cO+, neutrálním produktům reakcí přirozeně dominovaly H2O, CO2 a CO.

Project
<a href="/en/project/GD202%2F03%2FH162" target="_blank" >GD202/03/H162: Advanced topics in physics and chemistry of plasmas</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
16th Symposium on Application of Plasma Processes - Book of Abstracts
ISBN
978-80-89186-13-6
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
149-150
Publisher name
Union of Slovak Mathematicians and Physicists
Place of publication
Bratislava
Event location
Slovensko, Podbánské
Event date
Jan 1, 2007
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)