Reproducibility in X-ray reflectometry: results from the first world-wide round-robin experiment

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F08%3A00025747" target="_blank" >RIV/00216224:14310/08:00025747 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Reproducibility in X-ray reflectometry: results from the first world-wide round-robin experiment

Original language description

X-ray reflectometry (XRR) is a well established technique to evaluate quantitatively electron density, thickness and roughness of thin layers. In this paper, results of the first world-wide XRR round-robin experiment, involving 20 laboratories, are presented and discussed. The round-robin experiment was performed within the framework of the VAMAS Project "X-ray reflectivity measurements for evaluation of thin films and multilayers", the aim of which is to produce a good practice manual for XRR. The reproducibility of measurements obtained using different equipment has been investigated. The influence of the fitting of the experimental data was shown to be non-negligible compared with the experimental factors. The dynamic intensity range proves to be animportant parameter for obtaining a good quality measurement.

Czech name

Reprodukovatelnost rtg reflektometrie: výsledky prvního celosvětového Round Robin experimentu

Czech description

Rtg reflektometrie je velmi dobře zavedená technika pro kvantitativní vyhodnocování elektronové hustity, tloušťky a drsnosti tenkých vrstev. V této publikaci jsou prezentovány a diskutovány výsledky prvního celosvětového rtg round robin experimentu zahrnujícího 20 laboratoří. Round robin experiment byl proveden uvnitř rámcové spolupráce projektu VAMAS "Měření rtg reflektivity za účelem vyhodnocování tenkých vrstev a multivrstev", jehož cílem je vyrobit dobrý praktický manuál pro rtg reflektivitu. Reprodukovatelnost měření byla studována za použití různých zařízení. Ukázalo se, že vliv fitování experimentálních dat byl nezanedbatelný při porovnání s experimentálními faktory. Jako důležitý se ukazuje dynamický rozsah intensity pro získání dobrého, kvalitního měření.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

J. Appl. Crystallography

ISSN

0021-8898

e-ISSN

—

Volume of the periodical

41

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

10

Pages from-to

—

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—