Measurement Platform for XRR
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21220%2F08%3A00143922" target="_blank" >RIV/68407700:21220/08:00143922 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Měřicí platforma pro rentgenovou reflektometrii XRR
Original language description
Řada moderních technických odvětví stále intenzivněji využívá struktury tvořené velice tenkými vrstvami nanesenými na podložku. Ty nachází uplatnění především při výrobě mikroprocesorů, fotovoltaických článků novější generace nebo speciální rentgenové optiky. Metoda rentgenové reflektometrie (XRR) je nesmírně důležitým diagnostickým nástrojem, který umožňuje měřit celou řadu vlastností těchto struktur. Proto neustále roste zájem o velice rychlá měřící zařízení využívající metodu XRR. Tento článek popisuje konstrukční řešení takové měřící platformy, která byla navržena ve spolupráci s Fakultou strojní ČVUT v Praze.
Czech name
Měřicí platforma pro rentgenovou reflektometrii XRR
Czech description
Řada moderních technických odvětví stále intenzivněji využívá struktury tvořené velice tenkými vrstvami nanesenými na podložku. Ty nachází uplatnění především při výrobě mikroprocesorů, fotovoltaických článků novější generace nebo speciální rentgenové optiky. Metoda rentgenové reflektometrie (XRR) je nesmírně důležitým diagnostickým nástrojem, který umožňuje měřit celou řadu vlastností těchto struktur. Proto neustále roste zájem o velice rychlá měřící zařízení využívající metodu XRR. Tento článek popisuje konstrukční řešení takové měřící platformy, která byla navržena ve spolupráci s Fakultou strojní ČVUT v Praze.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Nové metody a postupy v oblasti přístrojové techniky, automatického řízení a informatiky
ISBN
978-80-01-04765-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
6
Pages from-to
—
Publisher name
České vysoké učení technické v Praze
Place of publication
Praha
Event location
želiv
Event date
Jun 1, 2008
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—