Measurement platform for X-ray reflectivity XRR
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21220%2F08%3A02143905" target="_blank" >RIV/68407700:21220/08:02143905 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Measurement platform for X-ray reflectivity XRR
Original language description
Many modern technologies are based on using thin film structures that consist of very thin layers deposited on substrate. These are being used in semiconductor industry, especially microprocessor manufacturing, solar energy or X-ray optics. XRR method isvery important and powerful method useful for characterization or such structures. It allows us to measure many important parameters of thin films and so fast measurement tools are required by customers. Our measurement tool has excellent throughput while measurement precision stays comparable with conventional tools. This is achieved by using parallel kinematics and parallel measurement of sample position in all six degrees of freedom.
Czech name
Meřící platforma pro rentgenovou reflektometrii XRR
Czech description
Řada moderních technických odvětví stále intenzivněji využívá struktury tvořené velice tenkými vrstvami nanesenými na podložku. Nachází uplatnění především při výrobě mikroprocesorů, fotovoltaických článků novější generace nebo speciální rentgenové optiky. Metoda XRR je nesmírně důležitým diagnostickým nástrojem, který umožňuje měřit celou řadu vlastností těchto struktur, a proto roste zájem o velice rychlá měřící zařízení. Navržené měřící zařízení vyniká vysokou rychlostí měření při zachování přesnosti. Toho je dosaženo využitím paralelní kinematiky a paralelním snímáním polohy vzorku v šesti stupních volnosti.
Classification
Type
G<sub>prot</sub> - Prototype
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
PRT200802
Numerical identification
—
Technical parameters
neveřejná informace
Economical parameters
neveřejná informace
Application category by cost
—
Owner IČO
25082124
Owner name
Reflex s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—