Harmonics
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F13%3A00067929" target="_blank" >RIV/00216224:14310/13:00067929 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://www.nanocontact.cz/~trunec/prog/harmonics.zip" target="_blank" >http://www.nanocontact.cz/~trunec/prog/harmonics.zip</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Harmonics
Original language description
Library of functions for Matlab or Octave. These functions enable to compute electric characteristics of capacitively coupled discharges. The computation includes the nonlinear nature of capacitive plasmas and the generation of higher harmonic frequencies of discharge current and sheath voltages. The main calculated outputs are the waveforms of discharge current and voltages. Detailed description of the computation can be found in the attached file harmoncs.pdf.
Czech name
—
Czech description
—
Classification
Type
R - Software
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/ED2.1.00%2F03.0086" target="_blank" >ED2.1.00/03.0086: Regional R&D center for low-cost plasma and nanotechnology surface modifications</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2013
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
Harmonics - version March 2013
Technical parameters
Knihovna funkcí "Harmonics" umožňuje počítat výbojový proud a výbojová napětí v kapacitně výzaném plazmatu.
Economical parameters
Knihovna funkcí "Harmonics" je využitelná především v základním výzkumu, případně v pokročilé výuce. Ekonomické využití lze očekávat např. při monotorování leptacích procesů (např. v mikroelektronice). Bez napojení na konkrétní leptací provoz tedy nelzeodhadnout roční úsporů nákladů.
Owner IČO
00216224
Owner name
Masarykova univerzita