DEPENDENCE OF HIGHER HARMONIC FREQUENCIES MEASURED IN CAPACITIVELY COUPLED PLASMA ON THE MATCHING UNIT PARAMETERS

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F08%3A00027076" target="_blank" >RIV/00216224:14310/08:00027076 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

DEPENDENCE OF HIGHER HARMONIC FREQUENCIES MEASURED IN CAPACITIVELY COUPLED PLASMA ON THE MATCHING UNIT PARAMETERS

Original language description

Higher harmonic frequencies of electric voltage and current are significant features of low-pressure capacitively coupled discharges. Their behaviour is quite complex since it is a function of many plasma and reactor parameters. This article deals with the influence of matching unit parameters on amplitudes of higher harmonics, which were measured by means of an uncompensated probe immersed into the plasma of an asymmetric capacitive discharge. Most of the harmonics reached their maxima in the case of optimal matching, i.e. when the RF power delivered to the discharge was maximal. However, the amount of the power delivered to the discharge did not explain the behaviour of higher harmonics sufficiently. It was shown that at our experimental conditions the behaviour of higher harmonics was determined by the sheath voltage.

Czech name

Závislost vyšších harmonických frekvencí měřených v kapacitně vázaném výboji na parametrech přizpůsobovacího členu

Czech description

Byla měřena závislost amplitud vyšších harmonických frekvencí generovaných nízkotlakým asymetrickým kapacitně vázaným výbojem na parametrech přizpůsobovacího členu. Většina vyšších harmonických frekvencí měla největší amplitudu při optimálním přizpůsobení, nicméně hodnota výkonu dodávaného do plazmatu nevysvětlila chování harmonik dostatečně. Ukázalo se, že chování vyšších harmonických frekvencí je řízeno napětím na vrstvě prostorového náboje u elktrody.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Chemické listy

ISSN

1803-2389

e-ISSN

—

Volume of the periodical

102

Issue of the periodical within the volume

s1311-1538

Country of publishing house

CZ - CZECH REPUBLIC

Number of pages

4

Pages from-to

—

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—