Combination of optical methods and atomic force microscopy at characterization of thin film systems

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14330%2F05%3A00013181" target="_blank" >RIV/00216224:14330/05:00013181 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/48399108:_____/05:#0000009

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Combination of optical methods and atomic force microscopy at characterization of thin film systems

Original language description

In this paper the examples of combined analytical methods usable for the characterization of thin film systems are presented. As the optical methods variable angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry are used. It is shown that these methods can be employed for the complete determination of both the optical and material parameters of the materials forming the films. Moreover, it is shown that using the combined methods of AFM and the optical methods specified it is also possible todetermine the values of the parameters characterizing some defects of the film systems under investigation. Discussion of the reliability of the methods enabling us to determine the values of the statistical quantities describing the boundary roughnessof the thin films is also presented. A detailed attention is devoted to the results achieved for these quantities by atomic force microscopy for very finely rough film boundaries (i.e. nanometrically rough boundaries). The practical meani

Czech name

Kombinace optických metod a mikroskopie atomové síly pro zkoumání systémů tenkých vrstev

Czech description

V tomto článku jsou uvedeny příklady kombinace analytických metod použitelných pro charakterizaci systémů tenkých vrstev. Jako optické metody jsou užity víceúhlová spektroskopická elipsometrie a spektroskopická reflektometrie. Je ukázáno, že tyto metodymohou být aplikovány pro úplné určení optických i materiálových parametrů látek vytvářejících tenké vrstvy. Navíc je ukázáno, že kombinované metody AFM a specifikovaných optických metod je možné využít k určení hodnot parametrů charakterizujících některédefekty zkoumaných systémů tenkých vrstev. Je také presentována diskuse spolehlivosti metod umožňujících určit hodnoty statistických veličin popisujících drsnost rozhraní. Podrobná pozornost je věnována výsledkům dosaženým pro tyto veličiny pomocí AFM pro velmi jemně drsná rozhraní tenkých vrstev (tj. pro nanometricky drsná rozhraní). Praktický význam uvedených kombinovaných metod je ilustrován pomocí chararakterizace několika vzorků TiO2 vrstev, hydrogenovaných polymorfních křemíkových

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Acta physica slovaca

ISSN

0323-0465

e-ISSN

—

Volume of the periodical

55

Issue of the periodical within the volume

3

Country of publishing house

SK - SLOVAKIA

Number of pages

24

Pages from-to

271-294

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—