Ellipsometry in characterization of thin films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14330%2F05%3A00013302" target="_blank" >RIV/00216224:14330/05:00013302 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Ellipsometry in characterization of thin films

Original language description

In this paper the principles of ellipsometry together with a description of important ellipsometric techniques are briefly presented. A general classification of the ellipsometric methods significant from the practical point of view is performed as well.Furthermore, the general principles of the optical characterization of thin film systems are introduced. Thus, the main steps for creating the structural models of the thin film systems are described together with classification of the mathematical formalism usable for deriving the formulae usable for the optical characterization of the system mentioned. The three significant dispersion models enabling us to express the spectral dependences of the optical constants of the amorphous dielectric and semiconductor thin films within the wide spectral region are also described, i.e. the Tauc-Lorentz model, Ferlauto et al. model and model based on parameterization of the density of electronic states are discussed. Three examples of the optical

Czech name

Elipsometrie při charakterizaci tenkých vrstev

Czech description

V tomto článku jsou stručně presentovány principy elipsometrie spolu s popisem hlavních elipsometrických technik. Obecná klasifikace elipsometrických metod významných s praktického hlediska je provedena rovněž. Dále jsou uvedeny i principy optické charakterizace systémů tenkých vrstev. Tudíž hlavní kroky pro vytvoření strukturních modelů tenkovrstevných systémů jsou popsány spolu s klasifikací matematického formalismu použitelného pro pro odvození rovnic vhodných pro optickou charakterizaci zmíněných systémů. Tři důležité dispersní modely nám umožňující vyjádřit spektrální závislosti optických konstant amorfních dielektrických a polovodičových tenkých vrstev v rámci široké spektrální oblasti jsou také popsány, tj. Tauc-Lorentz model, Ferlauto et al model a model založený na parametrizaci hustoty elektronových stavů jsou diskutovány. Tři příkladyoptické charakterizace tenkých vrstev jsou ilustrovány, tj. výsledky optické charakterizace polymorfních křemíkových vrstev, As-S chalkogenidov

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA203%2F05%2F0524" target="_blank" >GA203/05/0524: Photonics glasses and amorphous films</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of the SREN 2005

ISBN

80-223-2099-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

31

Pages from-to

81-111

Publisher name

Comenius University

Place of publication

Bratislava, Slovakia

Event location

Florence, Italy

Event date

Apr 2, 2005

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—