Thickness Distribution of Amorphous Chalcogenide Films Prepared by Pulsed Laser Deposition.

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F08%3A00007556" target="_blank" >RIV/00216275:25310/08:00007556 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Thickness Distribution of Amorphous Chalcogenide Films Prepared by Pulsed Laser Deposition.
Original language description
Amorphous chalcogenide thin films were prepared from As2Se3, As3Se2 and InSe bulk glasses by pulsed laser deposition using a KrF excimer laser. Thickness profiles of the films were determined using variable angle spectroscopic ellipsometry. The influenceof the laser beam scanning process during the deposition on the thickness distribution of the prepared thin films was evaluated and the corresponding equations suggested. The results were compared with experimental data.
Czech name
Tloušťkové rozložení amorfních chalkogenidových filmů připravených pulzní laserovou depozicí
Czech description
Pulzní laserovou depozicí (KrF excimer laser) byly připraveny amorfní chalkogenidové filmy ze skelných materiálů As2Se3, As3Se2 a InSe. Tloušťkové profily byly určeny pomocí VASE. Byl určen vliv skenovací techniky laserového paprsku během depozice na tvar distribuce tloušťky připravených filmů a byl popsán příslušnými rovnicemi. Výsledky byly porovnány s experimentálními daty.

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)