Design of an Ellipsometer For Thin Films and Surface Measurement.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F01%3APU22034" target="_blank" >RIV/00216305:26210/01:PU22034 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Konstrukce elipsometru pro měření tenkých vrstev a povrchů.

Original language description

Tato práce se zabývá konstrukcí a testováním elipsometrů určených pro in situ monitorování povrchů a tenkých vrstev. Kromě dvouvlného elipsometru je zde prezentována také verze spektroskopická. Provedená měření tloušťky leptaných vrstev SiO2 demonstrujívýhody spektroskopické metody.

Czech name

Konstrukce elipsometru pro měření tenkých vrstev a povrchů.

Czech description

—

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/PG98377" target="_blank" >PG98377: Ion-beam technologies and surface/thin film analysis</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2001

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Volume of the periodical

46

Issue of the periodical within the volume

4

Country of publishing house

CZ - CZECH REPUBLIC

Number of pages

4

Pages from-to

136-139

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—