Optical characterization of absorbing thin films non-uniform in thickness using imaging spectroscopic reflectometry
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F08%3APU75024" target="_blank" >RIV/00216305:26210/08:PU75024 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Optical characterization of absorbing thin films non-uniform in thickness using imaging spectroscopic reflectometry
Original language description
Application of the imaging spectroscopic reflectometry to the optical characterization of non-uniform absorbing carbon-nitride thin films is presented. It is possible to determine the area distribution of the optical constants of the non-uniform films together with their thickness distribution using this technique.
Czech name
Optická charakterizace absorbujících tenkých vrstev neuniformních v tloušťce pomocí zobrazovací spektroskopické reflektometrie
Czech description
Je prezentována aplikace zobrazovací spektroskopické reflektometrie k úplné optické charakterizaci neuniformních absorbujících karbon-nitridových tenkých vrstev. Užitím této techniky je je možno určit plošné rozdělení optických konstant a tloušťky těchtovrstev.
Classification
Type
O - Miscellaneous
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů