Surface observation and measurement by means of digital holographic microscope with arbitrary degree of coherence

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F08%3APU78130" target="_blank" >RIV/00216305:26210/08:PU78130 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Surface observation and measurement by means of digital holographic microscope with arbitrary degree of coherence

Original language description

The application of digital holographic microscope (DHM) imaging and inspection of fine surface structures, dimensions of which are in the range from units of nanometers up to units of micrometers in optical axis direction, is described in this paper. Accurate results of surface structures measurement, in the case the surface profile height is of three orders range, is achieved by simultaneous processing of optically sectioned image intensity and image phase. Surface profile height is roughly specified by the image intensity and the precise height information is acquired from the image phase. Full width at half maximum of the axial intensity response is adjusted properly for particular specimen by the modification of the spectral function of illumination and by resizing of the incoherent illumination source. It means the intervention into spatial and temporal coherence of the illumination. The content of this paper is the description of imaging characteristics of the DHM for individual

Czech name

Aplikace digitální holografické mikroskopie s proměnný stupněm koherence osvětlení v profilometrii povrchů.

Czech description

Reflexní digitální holografický mikroskop (RDHM) využívá principu mimosové nekoherentní obrazové holografie s difrakční mřížkou na místě děliče svazku. Z principu této techniky vyplývá, že z výstupního signálu lze rekonstruovat obrazovou intenzitu společně s obrazovou fází, a to prakticky v reálném čase [1]. Konstrukční provedení mikroskopu umožňuje použití osvětlení s širokým rozsahem časové a prostorové koherence. Použití plošného, prostorově nekoherentního zdroj vede k silné závislost rekonstruovanéintenzity na poloze pozorovaného povrchu vzhledem k předmětové rovině objektivu. Vzniká optický řez, podobně jako v konfokální mikroskopii [2]. Tuto závislost charakterizuje tzv. osová intenzitní odezva. Je-li zdroj navíc spektrálně širokopásmový, tedy také časově nekoherentní, optický řez je podstatně zúžen, poklesne hodnota pološířky osové intenzitní odezvy [3]. Použití kvazibodového spektrálně úzkopásmov

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/LC06040" target="_blank" >LC06040: Structures for Nanophotonics and Nanoelectronics</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

16th Polish-Slovak-Czech Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics (Proceedings Volume)

ISBN

978-0-8194-7383-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

8

Pages from-to

—

Publisher name

Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE)

Place of publication

Bellingham WA 98225-6705 USA

Event location

Polanica Zdrój, Poland

Event date

Sep 8, 2008

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—