Membrane beamsplitter based Imaging Spectroscopic Reflectometer
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F16%3APU119816" target="_blank" >RIV/00216305:26210/16:PU119816 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.
Original language description
Na ústavu Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně byla vyvinuta nová varianta zobrazovacího spektroskopického reflektometru pro optickou charakterizaci tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech. Přístroj vznikl za účelem rozšíření metody zobrazovací spektroskopické reflektometrie pro vzorky tenkých vrstev s velkými gradienty zmíněných neuniformit. Tohoto cíle bylo dosaženo vyšším obrazovým rozlišením nového přístroje. Při jeho návrhu bylo s výhodou využito membránového děliče, který však omezil spektrální rozsah použitého světla pouze na viditelnou a blízkou infračervenou oblast. Nový přístroj doplňuje již dlouhodobě funkční zobrazovací spektroskopický reflektometr pracující také v ultrafialové spektrální oblasti . Oba přístroje umožňují aplikaci zobrazovací spektroskopické reflektometrie na širokou množinu vzorků neuniformních tenkých vrstev
Czech name
Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.
Czech description
Na ústavu Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně byla vyvinuta nová varianta zobrazovacího spektroskopického reflektometru pro optickou charakterizaci tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech. Přístroj vznikl za účelem rozšíření metody zobrazovací spektroskopické reflektometrie pro vzorky tenkých vrstev s velkými gradienty zmíněných neuniformit. Tohoto cíle bylo dosaženo vyšším obrazovým rozlišením nového přístroje. Při jeho návrhu bylo s výhodou využito membránového děliče, který však omezil spektrální rozsah použitého světla pouze na viditelnou a blízkou infračervenou oblast. Nový přístroj doplňuje již dlouhodobě funkční zobrazovací spektroskopický reflektometr pracující také v ultrafialové spektrální oblasti . Oba přístroje umožňují aplikaci zobrazovací spektroskopické reflektometrie na širokou množinu vzorků neuniformních tenkých vrstev
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA02010784" target="_blank" >TA02010784: Optimization of thin film systems used in the optics industry</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2016
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Volume of the periodical
61
Issue of the periodical within the volume
6
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
5
Pages from-to
144-148
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—