Control board for cathode etching
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F04%3APU44810" target="_blank" >RIV/00216305:26220/04:PU44810 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Control board for cathode etching
Original language description
This paper covers control board for cathode etching. This device is designed in order to analyze and control optimal cathoed etching cycle. Main function of this control board is control position system, measure etching current and control cathode etching cycle.
Czech name
Výrobní systém pro katody do elektronového litografu
Czech description
Článek se zabývá zlepšením výrobního procesu monokrystalického wolframového drátu, který se používá jako katoda pro elektronový litograf. Pro tento výrobní proces bylo vytvořeno nový elektronický systém pro řízení tohoto výrobního procesu. Článek se zabývá popisem tohoto zařízení, jeho možnostmi a výsledném efektu na výrobní proces.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
STUDENT EEICT 2004
ISBN
80-214-2636-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
597-600
Publisher name
Vysoké učení technické v Brně
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Apr 29, 2004
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—