Control unit for etching of cathodes
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F04%3APU44819" target="_blank" >RIV/00216305:26220/04:PU44819 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Control unit for etching of cathodes
Original language description
This paper covers control board for cathode etching. This device is designed in order to analyze and control optimal cathoed etching cycle. Main function of this control board is control position system, measure etching current and control cathode etching cycle.
Czech name
Řídící jednotka pro leptání katod
Czech description
Článek se zabývá řídící jednotkou pro výrobu katod použivaných v elektronovém litografu. Pro tento výrobní proces bylo vytvořeno nový elektronický systém pro řízení tohoto výrobního procesu. Článek se zabývá popisem tohoto zařízení, jeho možnostmi a výsledném efektu na výrobní proces.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
EDS 04 - Proceedings
ISBN
80-214-2701-9
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
256-259
Publisher name
Vysoké učení technické v Brně
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Sep 9, 2004
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—