Observation of Multilayer Semiconductor Structures in the Scanning Electron Microscope

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F05%3APU52236" target="_blank" >RIV/00216305:26220/05:PU52236 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/68081731:_____/05:00022834
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Observation of Multilayer Semiconductor Structures in the Scanning Electron Microscope
Original language description
Scanning Electron Microscopes (SEMs) have been used for various applications in the semiconductor industry. Observation of the cross section of semiconductor devices can give important information about the layer structure, film thicknesses and the defects localization. The way to obtain more information about the multilayer semiconductor structure is observation using SEM with various detection modes. The aim of this contribution is to give information about the detection modes used to the visualizatioon of semiconductor structures in the SEM.
Czech name
Pozorování vícevrstvých polovodičových struktur v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Czech description
Práce se zabývá problémy vznikajícími při pozorování polovodičových vzorků v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Zvláštní pozornost je věnována scintilačnímu detektoru zpětně odražených elektronů, který je pro tento účel velmi vhodný. Jednak díky možnosti pozorovat materiálový kontrast vzorku a tím přesně rozlišit jednotlivé vrstvy vzorku. A také protože se při snímání obrazu tímto detektorem neprojevuje tolik nabíjení méně vodivých vrstev vzorku, jako u detektorů sekundárních elektronů.

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of IMAPS CS International Conference 2005
ISBN
80-214-2990-9
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
3
Pages from-to
248-250
Publisher name
Vysoké učení technické v Brně
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Sep 15, 2005
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)