Detection of Backscattered Electrons in Low Voltage Scanning Electron Microscopy
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F05%3APU52285" target="_blank" >RIV/00216305:26220/05:PU52285 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii
Original language description
Tato práce se zabývá řešením problému detekce zpětně odražených elektronů při urychlovacím napětí nižším než 3 kV scintilačním detektorem. Při takto nízkém urychlovacím napětí, a tudíž malé energii zpětně odražených elektronů, produkují scintilační monokrystaly velmi nízký počet fotonů a obraz získaný scintilačním detektorem zpětně odražených elektronů je nekvalitní. Proto je nutné, pokud chceme získat obraz materiálového kontrastu, dodat zpětně odraženým elektronům energii potřebnou pro vytvoření dostaatečného množství fotonů a zároveň elektromagnetickým polem odklonit sekundární elektrony, které přinášejí do obrazu nepříznivý vliv topografického kontrastu.
Czech name
Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii
Czech description
Tato práce se zabývá řešením problému detekce zpětně odražených elektronů při urychlovacím napětí nižším než 3 kV scintilačním detektorem. Při takto nízkém urychlovacím napětí, a tudíž malé energii zpětně odražených elektronů, produkují scintilační monokrystaly velmi nízký počet fotonů a obraz získaný scintilačním detektorem zpětně odražených elektronů je nekvalitní. Proto je nutné, pokud chceme získat obraz materiálového kontrastu, dodat zpětně odraženým elektronům energii potřebnou pro vytvoření dostaatečného množství fotonů a zároveň elektromagnetickým polem odklonit sekundární elektrony, které přinášejí do obrazu nepříznivý vliv topografického kontrastu.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Investigation of the true secondary electrons detection systems in the newly conceived environmental scanning electron microscope</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
PDS 2004 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky
ISBN
80-239-4561-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
61-64
Publisher name
Ústav přístrojové techniky AV ČR
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Mar 15, 2005
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—