Trajectories of Signal Electrons in Low-Voltage BSE Detector

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109052" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109052 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/00216305:26220/04:PU44568
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Trajectories of Signal Electrons in Low-Voltage BSE Detector
Original language description
Nowadays the development of the image formation in scanning electron microscope (SEM) is oriented to the use of scanning electron microscopes with low accelerating voltage of the primary beam (LV SEM). Secondary electrons (SEs) for topographical contrastobservation and backscattered electrons (BSEs) for material contrast observation are the main components of the detected signal in LV SEM. While the secondary electrons can be detected either by Everhart-Thornley scintillation detector or by the "in lens" SE detector, the detection of backscattered electrons (BSEs) in LV SEM is an unsolved problem yet
Czech name
Trajektorie signálních elektronů v nízkonapěťovém BSE detektoru
Czech description
Současný vývoj v rastrovací elektronové mikroskopii je orientován na používání nízkého napětí urychlujícího svazek primárních elektronů (LV SEM). Sekundární elektrony (SE) pro pozorování topografického kontrastu, a zpětně odražené elektrony (BSE), pro pozorování materiálového kontrastu, jsou hlavní složky detekovaného signálu v LV SEM. Zatímco SE mohou být detekovány Everhart-Thornley scintillation detector nebo in-lens detektorem, detekce BSE v LV SEM je dosud nevyřešený problém

Project
<a href="/en/project/IBS2065107" target="_blank" >IBS2065107: Scanning electron microscopy for research of structure of wet materials</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation
ISBN
80-239-3246-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
77-78
Publisher name
Institute of Scientific Instruments AS CR
Place of publication
Brno
Event location
Skalský Dvůr
Event date
Jul 12, 2004
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)