Comparison of imaging with SE ionisation and BSE scintillation detector in ESEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F03%3APU36423" target="_blank" >RIV/00216305:26220/03:PU36423 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Comparison of imaging with SE ionisation and BSE scintillation detector in ESEM

Original language description

Environmental scanning electron microscopy (ESEM) or low-vacuum scanning electron microscopy (LV SEM) enables the visualisation of samples in a gaseous environment at the pressure of the specimen chamber from 1 Pa to over 1000 Pa. Detection of signal electrons, namely secondary electrons (SE) cannot be realised in a gaseous environment of the specimen chamber in the same way as for the high vacuum SEM, because high voltage of the Everhart-Thornley detector is not compatible with the conductance of the llow vacuum environment [1]. For this reason, gaseous ions which are ionised by SE from the specimen are used for the detection in ESEM. For the detection of the backscattered electrons (BSES), conventional scintillation detector is the best to use.

Czech name

Srovnání obrazu získaného pomocí ionizačního SE detektoru a scintilačního BSE detektoru v EREM.

Czech description

Environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), nebo nízkovakuový rastrovací elektronový mikroskop (LV REM) dovolují pozorovat vzorky v prostředí plynu při tlacích od 1Pa až do tlaku kolem 1000Pa. Detekce signálových elektronů v EREM, zejména sekundárních elektronů (SE), nemůže být realizována stejným způsobem jako je tomu v SEM, protože vysoké napětí Everhart-Thornley detektoru by v prostředí vysokého tlaku způsobovalů výboje či průrazy v plynu.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2003

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings 6th Multinational Congress on Microscopy

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

487-488

Publisher name

—

Place of publication

Pula

Event location

Pula

Event date

Jun 1, 2003

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—