Detection of Low Energy Backscattered Electrons in SEM

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022408" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022408 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Detection of Low Energy Backscattered Electrons in SEM
Original language description
Application of the low accelerating voltage of the primary electron beam became due to its obvious advantages very popular in last decade. Instruments which are able to work with accelerating voltage of 3 keV and lower are called Low Voltage Scanning Electron Microscopes (LV SEMs). Detection of the backscattered electrons (BSEs) in LV SEM is because of their low energy very questionable. An efficient way of low energy BSE detection is described in this work.
Czech name
Detekce nízkoenergiových zpětně odražených elektronů v SEM
Czech description
Použití nízkého urychlovacího napětí při pozorování zkoumaného objektu se stalo v posledním desetiletí velmi populární. Přístroje schopné pracovat s dostatečným rozlišením s urychlovacím napětím menším než 3 kV jsou nazývány nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopy (LV SEM). Detekce zpětně odražených elektronů (BSE) v LV SEM byla až donedávna velmi obtížná. Práce popisuje účinný způsob detekce nízkoenergiových BSE pomocí změny jejich energií a trajektorií.

Project
<a href="/en/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detection of signal electrons in scaning electron microscopy with low primary beam energies</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./
ISBN
1019-6447
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
1
Pages from-to
61
Publisher name
Paul Scherrer Institute
Place of publication
Villigen
Event location
Davos
Event date
Aug 28, 2005
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)