New type of micro sensor with active nanoparticle surface

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F07%3APU69518" target="_blank" >RIV/00216305:26220/07:PU69518 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

New type of micro sensor with active nanoparticle surface

Original language description

The using of template base methods is a very low cost technology in comparison with lithographic method and pore anodized alumina is one of templates base methods. Highly ordered nanopores in a thin-film alumina template have been prepared for electrochemical micro sensors fabrication with nanopatterned surface of electrodes. The template has been grown on the micro system composes by two gold comb-like electrodes. The template is used for nanopillars or nanotubes formation on the electrodes surface. The preparation highly ordered hexagonal pore [1,2,3] structure as template is done using anodization of Al film adhered on the micro system, which is the first phase of device fabrication. The second is the nanorods or nanotubes growing on the system. Theanodized alumina (AA) as a template was used for its good dielectric properties and for ability of self ordering of aluminum under anodization [2,4]. The aluminum was directly evaporated on gold microelectrodes. The film thickness was ob

Czech name

Nový typ mikrosenzoru s nanočasticovaným povrchem

Czech description

V porovnání s litografíí je použití šablony pro depozice mnohem levnější technologie a porézní oxid hlinitý lze použít jako jednu z nich. Velmi pravidelně uspořádané póry na tenkovrstevné oxidové šabloně byly přiipraveny pro elektrochemické mikrosenzorys nanomechanizovanými leketrodami. Šablona vyrostla na mikrostému skládajícím se ze dvou zlatých hřebínkových elektrod. Šablona je použita pro depozice nanotyčinek a nanotrubiček na povrchu elektrod. Výroba vysoce uspořádané hexagonální struktury byla vytvořena použitím anodizace hliníkové vrstvy přiložené na mikro systému, což je první krok výroby zařízení. Druhým krokem je růst nanotyčinek a nanotrubiček na povrchu systému. Anodizovaný oxid hlinitý byl použit jako maska pro své dobré dielektrické vlastnosti a schopnost uspořádání při procesu anodizace. Hliník byl přímo napařen na zlaté elektrody. Získaná tloušťka byla kolem 2 um. Transformace hliníku do porézního

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/1QS201710508" target="_blank" >1QS201710508: Impedimetric chemical microsensors with nanomachined surface of electrodes</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

EMPS 2007 conference proceedings

ISBN

978-952-99751-1-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

195-198

Publisher name

IMAPS Nordic

Place of publication

Oulu

Event location

Oulu (Finland)

Event date

Jun 17, 2007

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—