Differentially evacuated chamber of the vacuum system of ESEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F09%3APR24217" target="_blank" >RIV/00216305:26220/09:PR24217 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Samostatně čerpaná komora vakuového systému environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu

Original language description

Přítomnost vysokého tlaku plynů (až 2000Pa) v komoře vzorku environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu vytváří specifické nároky na konstrukci mikroskopu a jeho čerpací systém. Jednotlivé konstrukční části EREM, zejména samostatně čerpaná komora mezi tubusem a komorou vzorku mikroskopu, musí být navrženy tak, aby vyhověly náročným požadavkům na účinné čerpání jejich vnitřního prostoru a minimalizaci tlaku v něm. Relativní technologická náročnost tohoto mikroskopu je však více než kompenzována širokou škálou možností jeho využití a to ať již v módu vakua, nebo v módu vysokého tlaku. Značnou tlakovou diferenci, vznikající mezi komorou vzorku (3-1000Pa) a prostorem zdroje elektronů (0.001 - 10-9Pa, podle typu katody) VP-SEM, lze udržet díky systému diferenciálně čerpaných komor, tlak omezujících clon (PLA1 a PLA2) a účinnému systému čerpání plynu. Clony jsou opatřeny otvory s průměrem řádově desítek a

Czech name

Samostatně čerpaná komora vakuového systému environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu

Czech description

Přítomnost vysokého tlaku plynů (až 2000Pa) v komoře vzorku environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu vytváří specifické nároky na konstrukci mikroskopu a jeho čerpací systém. Jednotlivé konstrukční části EREM, zejména samostatně čerpaná komora mezi tubusem a komorou vzorku mikroskopu, musí být navrženy tak, aby vyhověly náročným požadavkům na účinné čerpání jejich vnitřního prostoru a minimalizaci tlaku v něm. Relativní technologická náročnost tohoto mikroskopu je však více než kompenzována širokou škálou možností jeho využití a to ať již v módu vakua, nebo v módu vysokého tlaku. Značnou tlakovou diferenci, vznikající mezi komorou vzorku (3-1000Pa) a prostorem zdroje elektronů (0.001 - 10-9Pa, podle typu katody) VP-SEM, lze udržet díky systému diferenciálně čerpaných komor, tlak omezujících clon (PLA1 a PLA2) a účinnému systému čerpání plynu. Clony jsou opatřeny otvory s průměrem řádově desítek a

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2009

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID

DČK

Numerical identification

—

Technical parameters

Funkcni vzorek je vyuzivan na pracovisti resitele - Ústav Přístrojové techniky AV ČR; Královopolská 147; 612 64 Brno - Laboratoř LEM Vakuově čerpaná komora s tlakem do cca 30 Pa umožňující oddělit prostory s velmi rozdílnými hodnotami t

Economical parameters

výzkum

Application category by cost

—

Owner IČO

00216305

Owner name

Ústav elektrotechnologie

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee requirement

—

Web page

—