Scintillation SE detector for VP-SEM with two pressure limitting appertures and grid for draining of SEs from specimen

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F10%3APR24675" target="_blank" >RIV/00216305:26220/10:PR24675 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Modifikovaný scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP-SEM se dvěma tlak omezujícími clonami a mřížkou odsávající SE od vzorku

Original language description

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. Scintilátor detektoru je umístěn v prostoru, odděleném od komory mikroskopu dvěma tlak omezujícími clonami. Jednotlivé prostory detektoru jsou samostatně vakuově čerpány, což umožňuje dosáhnout tlak u scintilátoru řádově jednotek Pa při tlaku v komoře vzorku 1000 Pa. Tlak jednotek Pa dovoluje přivést na scintilátor napětí až 10 kV, potřebné k vybuzení scintilací. K tlak omezujícím clonám je přiloženo napětířádově stovek voltů a jsou využity jako elektrostatická čočka pro směrování drah sekundárních elektronů ke scintilátoru. Mřížka s kladným potenciálem, umístěná na vstupu detektoru, slouží k odsávání SE od vzorku a zajišťuje funkčnost detektoru též při tlacích pod 1 Pa.

Czech name

Modifikovaný scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP-SEM se dvěma tlak omezujícími clonami a mřížkou odsávající SE od vzorku

Czech description

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. Scintilátor detektoru je umístěn v prostoru, odděleném od komory mikroskopu dvěma tlak omezujícími clonami. Jednotlivé prostory detektoru jsou samostatně vakuově čerpány, což umožňuje dosáhnout tlak u scintilátoru řádově jednotek Pa při tlaku v komoře vzorku 1000 Pa. Tlak jednotek Pa dovoluje přivést na scintilátor napětí až 10 kV, potřebné k vybuzení scintilací. K tlak omezujícím clonám je přiloženo napětířádově stovek voltů a jsou využity jako elektrostatická čočka pro směrování drah sekundárních elektronů ke scintilátoru. Mřížka s kladným potenciálem, umístěná na vstupu detektoru, slouží k odsávání SE od vzorku a zajišťuje funkčnost detektoru též při tlacích pod 1 Pa.

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Publication year

2010

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID

SD pro VP-SEM

Numerical identification

—

Technical parameters

Funkční vzorek je využíván na pracovišti řešitele na Ústavu přístrojové techniky AV ČR, Královopolská 147, 612 64 Brno. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentálnírastrovací elektronový mikroskop pracující s

Economical parameters

výzkum

Application category by cost

—

Owner IČO

00216305

Owner name

Ústav elektrotechnologie

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee requirement

—

Web page

—