Scintillation Detector in Environmental SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022402" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022402 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Scintillation Detector in Environmental SEM

Original language description

The article deals with the concept of secondary electron scintillation detector in Environmental SEM. For secondary electrons detection by scintillation detector, the voltage of about 10 kV attached to the conductive surface layer of the scintillator accelerates secondary electrons to give them sufficient energy for efficient scintillation. However, presence of this voltage requires pressure less than 5 Pa in the scintillator room to avoid discharges. Therefore, our design of secondary electron detectoris based on scintillator location in a room with low pressure. This room is separated from the specimen chamber by the system of pressure limiting apertures that allow pass secondary electrons and inhibit the gas flow. The rooms between the apertures and scintillator are vacuum pumped. The results show that this detector provides new possibilities of electrons detection in Environmental SEM.

Czech name

Scintilační detektor v environmentální SEM

Czech description

Článek se zabývá konceptem scintilačního detektoru sekundárních elektronů v environmentální SEM. Pro detekci sekundárních elektronů scintilačním detektorem musí být na povrchu scintilátoru napětí přibližně 10 kV, které urychluje sekundární elektrony na energii dostatečnou k účinné scintilaci. Avšak přítomnost tohoto napětí vyžaduje k zamezení výbojů v plynu tlak menší než 5 Pa v prostoru scintilátoru. Konstrukce našeho detektoru je proto založena na umístění scintilátoru do prostoru s nízkým tlakem. Tento prostor je oddělen od komory vzorku systémem aperturních clon, které propouští sekundární elektrony a omezují proudění plynu. Prostory mezi clonkami a scintilátorem jsou vakuově čerpány. Výsledky ukazují, že tento detektor poskytuje nové možnosti detekce elektronů v environmentálním SEM.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Investigation of the true secondary electrons detection systems in the newly conceived environmental scanning electron microscope</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./

ISBN

1019-6447

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

1

Pages from-to

44

Publisher name

Paul Scherrer Institute

Place of publication

Villigen

Event location

Davos

Event date

Aug 28, 2005

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—