Colutron type ion source
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F13%3APR27684" target="_blank" >RIV/00216305:26620/13:PR27684 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-08/" target="_blank" >http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-08/</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Iontový zdroj typu Colutron
Original language description
Iontový zdroj je zařízení pro tvorbu fokusovaného iontového svazku používaného při analýzách, čištění nebo depozicích tenkých vrstev. Navržený zdroj je založen na komerční výbojové komoře firmy Colutron Research Corporation (nyní Beam Imaging Solutions),ke které byly navrženy a realizovány podpůrné systémy (nosný, chladící, elektrický, extrakční a fokusační).
Czech name
Iontový zdroj typu Colutron
Czech description
Iontový zdroj je zařízení pro tvorbu fokusovaného iontového svazku používaného při analýzách, čištění nebo depozicích tenkých vrstev. Navržený zdroj je založen na komerční výbojové komoře firmy Colutron Research Corporation (nyní Beam Imaging Solutions),ke které byly navrženy a realizovány podpůrné systémy (nosný, chladící, elektrický, extrakční a fokusační).
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2013
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
Colutron
Numerical identification
—
Technical parameters
Tvorba iontových svazků plynů s energií 100eV ? 3000eV a proudech do 20 microA, o pološířce svazku 1 ? 20mm. Připojovací rozměr vakuového systému DN100. Chlazení vodou (průtok min. 3l/min), žhavení vlákna zdroj 10V/20A, výbojové napětí zdroj 150V/1A, napájení extrakční elektrody zdroj 3000V/10 mA, napájení fokusační elektrody zdroj 3000V/10mA.
Economical parameters
Náklady na výrobu byly 65 000Kč. Doba vývoje zařízení a následná optimalizace přesáhla několik set hodin.
Application category by cost
—
Owner IČO
00216305
Owner name
Ústav fyzikálního inženýrství
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—