Functional sample of a non-contact correction tool based on focused IBF

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F21%3A00549777" target="_blank" >RIV/61389021:_____/21:00549777 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/68081731:_____/21:00549777
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Funkční vzorek bezkontaktního korekčního nástroje na principu fokusace IBF
Original language description
Funkční vzorek elektrostatického fokusačního nástroje určený pro použití v iontových leštičkách. Iontový svazek vystupující z iontového zdroje je průchodem skrz fokusační nástroj působením elektrostatických čoček fokusován do leštícího spotu s pološířkou FWHM okolo 1 mm umožňují 3D korigování s velkým laterálním rozlišením. Napájení elektrostatických čoček je zabezpečeno vysokonapěťovým zdrojem stejnosměrného napětí s výkonem 25 W v rozmezí 0 až +1250 V (brzdný režim).
Czech name
Funkční vzorek bezkontaktního korekčního nástroje na principu fokusace IBF
Czech description
Funkční vzorek elektrostatického fokusačního nástroje určený pro použití v iontových leštičkách. Iontový svazek vystupující z iontového zdroje je průchodem skrz fokusační nástroj působením elektrostatických čoček fokusován do leštícího spotu s pološířkou FWHM okolo 1 mm umožňují 3D korigování s velkým laterálním rozlišením. Napájení elektrostatických čoček je zabezpečeno vysokonapěťovým zdrojem stejnosměrného napětí s výkonem 25 W v rozmezí 0 až +1250 V (brzdný režim).

Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2021
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
TN01000008/02-V009
Numerical identification
—
Technical parameters
Délka nástroje = 43 mm, Průměr nástroje = 98 mm, Počet elektrod: 3, Pracovní vzdálenost: 5 mm, Rozsah napětí: + 0 až +1250 V (brzdný režim), Parametry iontového zdroje: Beam 1000 V, Acc -500 V, průtok plynu Ar 1,5 sccm, výkon RF zdroje 75 W
Economical parameters
Nejsou vyčísleny
Application category by cost
—
Owner IČO
61389021
Owner name
Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)