Preparation of micro and nanostructures by selective Si wet etching
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F14%3APU110040" target="_blank" >RIV/00216305:26620/14:PU110040 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku
Original language description
Chemické leptání patří mezi velmi používané metody modifikace povrchu mnoha materiálů, které je využíváno jak v průmyslu, tak i v základním výzkumu. Tento článek pojednává o přípravě povrchových struktur selektivním mokrým leptáním Si(100) přes masku, jež je vytvořena pomocí metod elektronové a iontové litografie. Tyto metody s vysokým rozlišením v kombinaci s leptáním za použití vodného roztoku hydroxidu draselného (KOH) umožňují získat struktury rozdílných tvarů a rozměrů jak v mikrometrovém, tak i nanometrovém měřítku.
Czech name
Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku
Czech description
Chemické leptání patří mezi velmi používané metody modifikace povrchu mnoha materiálů, které je využíváno jak v průmyslu, tak i v základním výzkumu. Tento článek pojednává o přípravě povrchových struktur selektivním mokrým leptáním Si(100) přes masku, jež je vytvořena pomocí metod elektronové a iontové litografie. Tyto metody s vysokým rozlišením v kombinaci s leptáním za použití vodného roztoku hydroxidu draselného (KOH) umožňují získat struktury rozdílných tvarů a rozměrů jak v mikrometrovém, tak i nanometrovém měřítku.
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2014
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Volume of the periodical
59
Issue of the periodical within the volume
6-7
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
4
Pages from-to
192-195
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—