Software for simulation of ions in magnetron sputtering

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F05323151%3A_____%2F22%3AN0000003" target="_blank" >RIV/05323151:_____/22:N0000003 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Software pro simulaci iontů v magnetronovém naprašování
Original language description
Jedná se o hybridní model transportu iontů v magnetronovém naprašování. Je založený na obecném hybridním modelu (kinetický+tekutinový), který vyvine Masarykova univerzita a PlasmaSolve jej následně upraví o fyzikální funkcionalitu nutnou pro simulaci magnetronového naprašování. Software bude kompatibilní s již existujícím software pro simulaci transportu neutrálů, což je nutné pro splnění dalších výstupů tohoto projektu.
Czech name
Software pro simulaci iontů v magnetronovém naprašování
Czech description
—

Project
<a href="/en/project/FW03010533" target="_blank" >FW03010533: Numerical models for optimization of innovative superhard materials</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2022
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
V1
Technical parameters
Jedná se o fyzikální výpočetní knihovny pro kinetickou i fluidní simulaci iontů. Po stránce softwarové architektury vznikly 3 knihovny: ● particleinEB – kinetická simulace nabitých částic (iontů a elektronů) ● fluidsinEB – fluidní (kapalinová) simulace plazmatu ● poissonBoltzmann – pomocný řešič Poissonovy rovnice s Boltzmannovskou pravou stranou.
Economical parameters
Software bude využit při komerční činnosti firmy Plasmasolve v souladu s implementačním plánem.
Owner IČO
05323151
Owner name
PlasmaSolve s.r.o.

Similar results(10)