DEMO SAMPLE (PROTOTYPE ) ? V001/TA01010078 - W750S01/S00 SOI Wafers / 3 ?m
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F26821532%3A_____%2F12%3A%230000036" target="_blank" >RIV/26821532:_____/12:#0000036 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
DEMO SAMPLE (PROTOTYPE ) ? V001/TA01010078 - W750S01/S00 SOI Wafers / 3 ?m
Original language description
Prototype (sample) of Bond and Grind Back Silicon-On-Insulator (BGSOI) wafer. BGSOI wafer diameter 150 mm, CZSi substrate sligthly doped by Boron (3-13 ohmcm), thickness 625 or 525 um, BOX (buried oxide layer) 620 nm, defect-free device layer thickness 3+/- 0.3 um. Crystallographic orientation (100). Bonded interface: BOX/device layer. Back side surface: thermal oxide > 200 nm.
Czech name
—
Czech description
—
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
JJ - Other materials
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA01010078" target="_blank" >TA01010078: SOI Structures for Advanced Semiconductor Applications</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2012
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
V001/TA01010078-W750S01/S00
Numerical identification
—
Technical parameters
Diameter 150 mm, substrate CZSi:B 3-13 ohmcm, (100), THK 625 or 525 um, BOX 620 nm, defect-free DL THK 3 +/- 0.3 um.
Economical parameters
Wafer costs < 60 USD.
Application category by cost
—
Owner IČO
26821532
Owner name
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o., právní nástupce
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—