An Injector for modification of process gases flow direction in diffusion reactors

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000030" target="_blank" >RIV/27711170:_____/13:#0000030 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech
Original language description
Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech se používá při výrobě tenkých vrstev pro polovodičovou techniku v procesních pecích. Upravuje směr toku procesních plynů do difúzního reaktoru tak, aby na jeho chladnějších místech navstupu nedocházelo k usazování reaktantů na vnitřní straně těla difúzního reaktoru, které je tvořeno křemennou trubicí.
Czech name
Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech
Czech description
Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech se používá při výrobě tenkých vrstev pro polovodičovou techniku v procesních pecích. Upravuje směr toku procesních plynů do difúzního reaktoru tak, aby na jeho chladnějších místech navstupu nedocházelo k usazování reaktantů na vnitřní straně těla difúzního reaktoru, které je tvořeno křemennou trubicí.

Project
<a href="/en/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2013
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
SV-DR-INJCTR
Numerical identification
—
Technical parameters
Řešení spočívá v instalaci injektoru se stínícími clonami. Injektor je tvořen křemennou trubičkou s jedním nebo více vstupy, která odvádí a rozfukuje procesní plyny do teplejší části reaktoru. K zamezení zpětného proudění reaktantů směrem ke vstupu je nainjektor zavěšena jedna nebo více clon, které jsou tvořeny kruhovými křemennými skly. Vstupní část reaktoru může být dále odstíněna vložkou z odolnějšího materiálu (SiC).
Economical parameters
V případě implementace extraktoru do vysokoteplotních pecí SVFur se předpokládá 2% nárůst ceny v segmentu oxidačních reaktorů společností SVCS Process Innovation s.r.o. Implementace tohoto funkčního vzorku v dané problematice zároveň posiluje kredit výrobce zařízení (SVCS) u svých zákazníků.
Application category by cost
—
Owner IČO
27711170
Owner name
SVCS Process Innovation s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)