A reactor prototype for phosphorus diffusion of 5 nad 6 inched Si wafors including all components (baffles, quartz boats, injector and extractor)

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F12%3A%230000014" target="_blank" >RIV/27711170:_____/12:#0000014 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Prototyp reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor)
Original language description
Vytvoření prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) pro dosažení homogenity požadovaného vrstvového odporu difundované n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu po ploše jednotlivých desek v celézpracovávané dávce.
Czech name
Prototyp reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor)
Czech description
Vytvoření prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) pro dosažení homogenity požadovaného vrstvového odporu difundované n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu po ploše jednotlivých desek v celézpracovávané dávce.

Project
<a href="/en/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2012
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
SVRPD_01
Numerical identification
—
Technical parameters
Homogenita vrstvového odporu n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu při dávkovém zpracování Si substrátů po ploše desek i podél reaktoru s homogenitou vrstvového odporu (mapovanou bezkontaktní sondou přes celou plochu Si desek) lepší než 3%. Zvýšenípočtu substrátů v jedné procesní dávce várce ze 100 na 300 substrátů/várka při zachování dosažených zlepšených parametrů homogenity vrstvového odporu n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu při dávkovém zpracování Si substrátů po ploše desek i podél reaktoru.
Economical parameters
V případě implementace ověřené technolopie pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků do vysokoteplotních pecí SVFur společně s metodikami pro přípravu substrátů a vytváření těchto vrstev sepředpokládá 12% nárůst prodeje v segmentu difuzních reaktorů pro dopování fosforem společností SVCS Process Innovation s.r.o.
Application category by cost
—
Owner IČO
27711170
Owner name
SVCS Process Innovation s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)