A function sample of modified reactor for boron diffusion with implemented injector and extractor and with shielding quartz elements for reduction of quartz reactor tube degradation and for increasing homogeneity of Si layers diffused by boron.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000031" target="_blank" >RIV/27711170:_____/13:#0000031 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Funkční vzorek upraveného reaktoru borové difúze s implementovaným injektorem, extraktorem a stínícími křemennými prvky pro snížení degradace křemenné trubky reaktoru a zvýšení homogenity bórem difundovaných křemíkových vrstev.

Original language description

Modifikace reaktoru borové difúze spočívá v implementaci dvouvstupového injektoru pro oddělené přivádění plynných směsí (N2, O2, BBr3, DCE) do reaktoru k zabránění chemické reakce mezi BBr3 a O2 v oblasti teplot pod 500°C, kdy dochází ke kondenzaci B2O3na stěnách křemenné trubky a následně k jejímu zkřehnutí a destrukci trubky. Křemenný stínící prvek na vstupu je sekundární ochrannou tvorby kondenzátu B2O3 u vstupu plynů a křemenný trubkový extraktor eliminuje tvorbu kondenzátu na opačné straně křemenné trubky a ve scavengeru.

Czech name

Funkční vzorek upraveného reaktoru borové difúze s implementovaným injektorem, extraktorem a stínícími křemennými prvky pro snížení degradace křemenné trubky reaktoru a zvýšení homogenity bórem difundovaných křemíkových vrstev.

Czech description

Modifikace reaktoru borové difúze spočívá v implementaci dvouvstupového injektoru pro oddělené přivádění plynných směsí (N2, O2, BBr3, DCE) do reaktoru k zabránění chemické reakce mezi BBr3 a O2 v oblasti teplot pod 500°C, kdy dochází ke kondenzaci B2O3na stěnách křemenné trubky a následně k jejímu zkřehnutí a destrukci trubky. Křemenný stínící prvek na vstupu je sekundární ochrannou tvorby kondenzátu B2O3 u vstupu plynů a křemenný trubkový extraktor eliminuje tvorbu kondenzátu na opačné straně křemenné trubky a ve scavengeru.

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2013

Confidentiality

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID

SV-B-rctr

Numerical identification

—

Technical parameters

Modifikací reaktoru borové difúze s dvouvstupovým injektorem, vstupním křemenným stínícím prvkem a křemenný trubkovým extraktorem dochází k podstatně nižšímu znečištění a celkové degradaci křemenné trubky, což má pozitivní vliv na četnost čištění reaktoru a jeho celkovou životnost (případně nutnost udržovat po celou dobu funkčnosti reaktor na teplotě nad 600°C).

Economical parameters

Modifikovaný reaktor borové difúze vyžaduje nižší nároky na provoz a údržbu. Frekvence pravidelného čištění křemenné trubky se zvýší o 150 a 200% a předpokládaný nárůst životnosti trubky je minimálně 100%.

Application category by cost

—

Owner IČO

27711170

Owner name

SVCS Process Innovation s.r.o.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Licence fee requirement

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Web page

—